CLZ系列洁净层流罩可灵活地吊装在需要高洁净度的工艺点上方,以满足局部高洁净度的要求。可单独使用,也可多个连接组成带状洁净区域;与土建式或装配式百级洁净室相比,投资省、见效快、装简便、运行费用低。 洁净度:工作区 ≥ 0.5μm粒的尘埃应≤3.5颗/升·分
平均风速:0.32~0.48m/s
噪声:<62dB(A)